蒸发材料

薄膜沉积的最佳蒸发性能取决于为物理气相沉积（PVD）工艺定制的高纯度材料。它需要蒸发材料具有低有机和无机杂质以及最小的表面污染，这将带来高重现性的性能，且溅射率和缺陷率低。

美题隆（Materion）的蒸发材料能够解决有关涂层的高纯度、洁净度、可重复性和均匀性等问题。我们的材料有多种形态，包括块状、颗粒状、晶粒状、棒状、丝状、定制形状以及起始源，并且有贵金属和非贵金属、无机化学品以及特种陶瓷等类型，可支持所有主要的原始设备制造商（OEM）平台。

我们的蒸发材料的优势:

• 有元素材料和化合物材料可供选择
• 产品良率提高
• 合规金属
• 批次间一致的材料特性
• 有机和无机杂质含量低

超高纯度蒸发材料: EVAPRO®

• 减少高纯度级别的飞溅并采用独特工艺
• 提高产量并降低成本
• 提高工具正常运行时间
• 提高薄膜均匀性
• 提高薄膜均匀性
• 减少部件与部件之间的差异

用定制设计的美泰龙起始源替换传统弹头

采用适用于电子束系统核心部位的蒸发起始源，提高产量并最大限度减少停机时间。我们提供定制设计的起始源，以实现更稳定的工艺，通过消除坯料中不一致的形貌，实现均匀蒸发。这为电子束扫描提供了更均匀的表面，使功率使用更加一致，达到最佳镀膜速率所需的调整更少。

美题隆（Materion）的起始材料有镍、金、钛、铂、铝、铬、铜以及 20 多种合金成分。

• 为满足客户需求而开发
• 提高产量，降低成本
• 在沉积过程中，喷溅率显著降低
• 最大限度提高机器正常运行时间
• 消除对坩埚衬里的需求

特种陶瓷 - 无机蒸发材料

凭借我们在薄膜沉积和无机化学品方面的专业技术，我们与客户合作开发无机薄膜材料，并助力其扩大运营规模。美题隆的薄膜沉积材料具有以下优势：

• 严格控制的化学过程和高纯度材料
• 有多种形状和尺寸可供选择
• 危险材料处理
• 2,000多种无机化学品：氟化物、氧化物、氮化物等