PVD薄膜耗材

为支持我们全方位的物理气相沉积（PVD）薄膜沉积材料系列，美题隆（Materion）与客户紧密合作，提供 PVD 耗材以支持溅射工艺，并助力生产均匀的涂层。我们的耗材包括背板、坩埚衬里和靶材粘结环氧树脂。

背板

我们的背板有标准设计和定制设计两种可供选择，以适应一系列目标：

• 有多种材料可供选择，包括铜、铜合金、铝和钼
• 与靶材的结合性良好
• 提高靶材的机械强度
• 促进靶材及靶组件的冷却
• 允许良好的热传导

选择背板材料时，必须考虑靶材与背板的物理性能以及预期的工作温度。此外，也有背管可供选择，其材质为不锈钢或钛。

坩埚衬里

迈特荣（Materion）的坩埚衬里有助于提高电子束蒸发工艺的热稳定性并缩短周期时间。我们的坩埚衬里有多种材料可供选择，能够提升工艺性能，且与大多数制造商的蒸发源兼容。此外，它们还具有以下特点：

• 提高热稳定性
• 减少向坩埚的热传递
• 实现更高的蒸发速率
• 支持快速更换材料，以最大限度减少真空室停机时间
• 降低功率需求
• 最大限度减少坩埚损坏及维护工作

靶材粘结环氧树脂

Silvertech PT-1: 一种双组分导电银填充环氧树脂，可替代金属键合用于高温溅射操作，为电子和光电子应用提供更好的键合效果。